半導(dǎo)體芯片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要原因是什么？

發(fā)布時(shí)間：2023-02-22 18:18:55 作者：知網(wǎng)小編 來源：m.elxoepd.cn

關(guān)鍵尺寸測(cè)量的一個(gè)重要原因是要達(dá)到對(duì)產(chǎn)品所有線寬的精確控制，因?yàn)樾酒P(guān)鍵尺寸的變化通常顯示出半導(dǎo)體制造工藝中一些關(guān)鍵環(huán)節(jié)的不穩(wěn)定性。 關(guān)鍵尺寸測(cè)量需要精度和準(zhǔn)確性優(yōu)于2nm的測(cè)量?jī)x器，能夠獲得這種測(cè)量水平的儀器是掃描電子顯微鏡（SEM）。

推薦閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容：

知網(wǎng)查重有賬號(hào)嗎 知網(wǎng)查重官網(wǎng)可以買嗎？

萬方與維普查重的區(qū)別 維普和萬方的檢索方式有什么區(qū)別？

論文計(jì)算部分怎么查重 論文查重到底是怎么查的？

知網(wǎng)論文查重怎么看是哪里重了 知網(wǎng)查重論文怎么檢測(cè)？

英文論文查重篇名輸英文還是中文 英文論文查重收費(fèi)嗎？

管理專業(yè)論文查重率 職稱論文查重率是多少？

萬方數(shù)據(jù)庫(kù)論文查重 價(jià)格 萬方論文查重多少錢？

如何識(shí)別垃圾郵件？

專利查重需要查重論文嗎 專利查重怎么查？

學(xué)術(shù)不端行為幾日內(nèi)開始處理 如何處理學(xué)術(shù)不端行為？

怎么搞論文查重 論文查重到底是怎么查的？

09年以前的論文怎么查重 論文查重到底是怎么查的？

sci期刊論文 查重嗎 為什么SCI期刊對(duì)重復(fù)率沒有要求？

已發(fā)表的職稱論文查重率高怎么辦 已發(fā)表的論文可以查重嗎？

論文里的圖片表格會(huì)查重嗎 論文查重會(huì)查表格和圖片的標(biāo)題嗎？

電大論文都是如何查重 電大畢業(yè)論文查重率是多少？

論文查重 與本人碩士論文重 碩士畢業(yè)論文查重率是多少？

論文查重修改方法有哪些？

近年來學(xué)術(shù)不端的現(xiàn)狀 我國(guó)學(xué)術(shù)不端問題現(xiàn)狀是什么？

知網(wǎng)怎么重查 知網(wǎng)查重是什么意思？

知網(wǎng)查重這么貴誰查的起 知網(wǎng)查重和某寶查重有什么區(qū)別？

cn論文查重率是多少 畢業(yè)論文查重率是多少？

萬方論文檢測(cè)好用嗎 萬方論文檢測(cè)數(shù)據(jù)庫(kù)有哪些？

畢業(yè)論文在哪兒查重 本科畢業(yè)論文需要查重嗎？

復(fù)試會(huì)考政治嗎？