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發(fā)布時(shí)間：2023-02-23 11:22:57 作者：知網(wǎng)小編 來源：m.elxoepd.cn
我們通常按工作原理來 分類，可以分為：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、壓電 式壓力傳感器、 智能式壓力傳感器等。 當(dāng)然，我們也可以采用所使用的材料對(duì)壓力傳 感器進(jìn)行分類：余屬壓力傳感器、半導(dǎo)體壓力傳感器、金屬．氧化物壓力傳感器、光 學(xué)壓力傳感器等，還有其他一些分法，這里就不一一介紹了。 壓阻式壓力傳感器是應(yīng)用最廣泛的壓力傳感器之一。 壓阻式壓力傳感器是利用硅 的壓阻效應(yīng)和微電子技術(shù)制成的，它具有靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、準(zhǔn)確度高、易于微 型化和集成化等特點(diǎn)，是獲得廣泛應(yīng)用，而且是發(fā)展迅速的一種新的物性型傳感器。 早期的壓阻傳感器是利用半導(dǎo)體應(yīng)變片制成的粘貼型壓阻傳感器。
